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发明名称 PLASMA UTILIZING APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06224183(A) 申请公布日期 1994.08.12
申请号 JP19910335109 申请日期 1991.12.18
申请人 I N R KENKYUSHO:KK 发明人 INOUE KIYOSHI
分类号 H01L21/205;H01L21/31;H05H1/46;(IPC1-7):H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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