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发明名称 Vorrichtung und Verfahren zur Durchflußmengenmessung
摘要
申请公布号 DE3320561(C2) 申请公布日期 1994.08.11
申请号 DE19833320561 申请日期 1983.06.07
申请人 MKS INSTRUMENTS, INC., BURLINGTON, MASS., US 发明人 EWING, JAMES H., BROCKTON, MASS., US;RAMBERG, FRED G., SALEM, MASS., US
分类号 G01F1/68;G01F1/684;G01F1/688;G01F1/698;G01F1/699;G01F15/04;(IPC1-7):G01F1/68 主分类号 G01F1/68
代理机构 代理人
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