Verfahren und Vorrichtung zur Dampfphasenauftragung eines Werkstoffs auf ein Substrat.
摘要
申请公布号
DE69006672(T2)
申请公布日期
1994.08.11
申请号
DE19906006672T
申请日期
1990.08.09
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
GREER, STUART EUGENE, SHELBURNE, VERMONT 05 482, US;MILLHAM, ERIC ERNEST, SHELBURNE, VERMONT 05 482, US;WIRSING, ADOLF ERNEST, SOUTH HERO VERMONT 05 486, US
