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发明名称 Niederspannungsquelle für schmale Elektronen-/Ionenstrahlenbündel.
摘要
申请公布号 DE3887891(T2) 申请公布日期 1994.08.11
申请号 DE19883887891T 申请日期 1988.11.01
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 FINK, HANS-WERNER, DR., CH-8136 GATTIKON, CH;MORIN, ROGER, DR., F-13 288 MARSEILLE CEDEX 9, FR;SCHMID, HEINZ, CH-8942 OBERRIEDEN, CH;STOCKER, WERNER, CH-8820 WAEDENSWIL, CH
分类号 H01J27/26;G01Q40/02;G01Q70/12;G01Q70/16;H01J1/304;H01J37/06;H01J37/073;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/073 主分类号 H01J27/26
代理机构 代理人
主权项
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