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发明名称 PLASMA ETCHING APPARATUS AND METHOD
摘要
申请公布号 EP0445981(A3) 申请公布日期 1994.08.10
申请号 EP19910301701 申请日期 1991.03.01
申请人 AMERICAN TELEPHONE AND TELEGRAPH COMPANY 发明人 GIAPIS, KONSTANTINOS PETROS;GOTTSCHO, RICHARD ALAN;SCHELLER, GEOFFREY ROBERT
分类号 H01L21/302;H01J37/32;H01L21/306;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306;C23F1/02;G01B9/02 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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