发明名称 |
FORMATION OF CARBON COATING FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06220638(A) |
申请公布日期 |
1994.08.09 |
申请号 |
JP19930027232 |
申请日期 |
1993.01.22 |
申请人 |
TOKAI CARBON CO LTD |
发明人 |
UEI TOSHIHARU;KONDO AKIRA |
分类号 |
C23C16/02;C04B41/52;C23C16/26;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/26 |
主分类号 |
C23C16/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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