发明名称 FORMATION OF CARBON COATING FILM
摘要
申请公布号 JPH06220638(A) 申请公布日期 1994.08.09
申请号 JP19930027232 申请日期 1993.01.22
申请人 TOKAI CARBON CO LTD 发明人 UEI TOSHIHARU;KONDO AKIRA
分类号 C23C16/02;C04B41/52;C23C16/26;C23C16/44;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 C23C16/02
代理机构 代理人
主权项
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