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发明名称
摘要
申请公布号
JPH0660400(B2)
申请公布日期
1994.08.10
申请号
JP19870076793
申请日期
1987.03.30
申请人
发明人
分类号
C23C16/02;C23C16/06;C23C16/28;(IPC1-7):C23C16/02
主分类号
C23C16/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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