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经营范围
发明名称
METHOD FOR FINELY WORKING METALLIC THIN FILM
摘要
申请公布号
JPH06220659(A)
申请公布日期
1994.08.09
申请号
JP19930242251
申请日期
1993.09.29
申请人
NIKON CORP
发明人
MORIYAMA TAKESHI
分类号
B81C99/00;C23F4/00;G21K1/06;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):C23F4/00
主分类号
B81C99/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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