| 发明名称 |
DEVICE FOR PULLING UP SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06219889(A) |
申请公布日期 |
1994.08.09 |
| 申请号 |
JP19930029666 |
申请日期 |
1993.01.27 |
| 申请人 |
KOMATSU ELECTRON METALS CO LTD |
发明人 |
OBARA TAKASHI;NAKAMURA TOSHIMITSU;KIKUCHI MITSUGI;ISHII MICHIO |
| 分类号 |
C30B15/26;C30B15/30;C30B29/06;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/26 |
主分类号 |
C30B15/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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