发明名称 COAT FORMATION
摘要
申请公布号 JPH06218322(A) 申请公布日期 1994.08.09
申请号 JP19920349776 申请日期 1992.12.02
申请人 TOKYO OHKA KOGYO CO LTD 发明人 SAGO HIROHITO;KOBARI HIDEYA;FUJIYAMA SHIGEMI;ENDO HIROKI
分类号 B05D1/40;B05D7/00;H01L21/027;H01L21/31;(IPC1-7):B05D1/40 主分类号 B05D1/40
代理机构 代理人
主权项
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