SURFACE CATHODE DISCHARGE DEVICE,申请号JP19910062766-传众专利搜索

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发明名称	SURFACE CATHODE DISCHARGE DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06220630(A)	申请公布日期	1994.08.09
申请号	JP19910062766	申请日期	1991.01.08
申请人	ASAMAKI TATSUO	发明人	ASAMAKI TATSUO
分类号	C23C14/35;C23F4/00;(IPC1-7):C23C14/35	主分类号	C23C14/35
代理机构		代理人
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