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发明名称
OPTICAL IMAGE-PICKUP-SURFACE INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06213641(A)
申请公布日期
1994.08.05
申请号
JP19920239043
申请日期
1992.08.15
申请人
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM>
发明人
TOTSUDO KAARU FUEROOZU;NOOMAN AARU RITENHAUSU;PEETAA JIYOSEFU YABURONSUKII
分类号
G01B11/30;G06K9/38;H03K5/08;H04N1/403;(IPC1-7):G01B11/30
主分类号
G01B11/30
代理机构
代理人
主权项
地址
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