发明名称 ANODE FORMATION METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06216110(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930021637 申请日期 1993.01.18
申请人 CANON INC 发明人 WATANABE TAKANORI
分类号 H01L21/3063;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3063
代理机构 代理人
主权项
地址