| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MEASURING PLASMA |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06216081(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930004151 |
申请日期 |
1993.01.13 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
KINOSHITA TAKASHI;NOZAWA TOSHIHISA;NISHIZUKA TETSUYA |
| 分类号 |
H01L21/302;H01L21/3065;H05H1/00;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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