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发明名称 VERTICAL FURNACE
摘要
申请公布号 JPH06216055(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930022122 申请日期 1993.01.14
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 IKEDA KAZUTO
分类号 H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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