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发明名称 VARTICAL FURNACE
摘要
申请公布号 JPH06216052(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930005661 申请日期 1993.01.18
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 KOIKE HIDEKI;YAMAMOTO TETSUO;IKEDA KAZUTO;KANO RIICHI
分类号 B01D46/00;H01L21/02;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 B01D46/00
代理机构 代理人
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