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发明名称 DIFUSING METHOD OF IMPURITY INTO SEMICONDUCTOR LAYER
摘要
申请公布号 JPH06216057(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930007168 申请日期 1993.01.20
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 HIRONAKA MISAO
分类号 H01L21/22;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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