发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE OF MULTILAYER INTERCONNECTION STRUCTURE
摘要
申请公布号 JPH06216257(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930004065 申请日期 1993.01.13
申请人 SONY CORP 发明人 FUJITA KATSUSHI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
主权项
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