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发明名称 WIRING EVALUATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06216212(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930007695 申请日期 1993.01.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRON CORP 发明人 KURIYAMA HIROKO
分类号 G01R31/26;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/66;H01L21/320 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
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