WASHING METHOD AND DEVICE,申请号JP19930005699-传众专利搜索

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发明名称	WASHING METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号	JPH06216101(A)	申请公布日期	1994.08.05
申请号	JP19930005699	申请日期	1993.01.18
申请人	HITACHI LTD	发明人	HATA KAZUHIRO
分类号	B08B3/10;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304	主分类号	B08B3/10
代理机构		代理人
主权项
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