发明名称 |
MASS FLOW CONTROLLER WITH TEMPERATURE ADJUSTING FUNCTION |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06214658(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
申请号 |
JP19930008181 |
申请日期 |
1993.01.21 |
申请人 |
HITACHI METALS LTD |
发明人 |
TSUJIMURA TOSHIHIKO;TANAKA MAKOTO |
分类号 |
G05D7/06;(IPC1-7):G05D7/06 |
主分类号 |
G05D7/06 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|