发明名称 FORMATION FOR METAL FILM
摘要
申请公布号 JPH06216132(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930005845 申请日期 1993.01.18
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 KATAGIRI TOMOHARU;YAMAMOTO HIROSHI;OOTA TOMOHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
地址