| 发明名称 |
WIRING FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND EVALUATION OF RESISTANCE VALUE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06216134(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930023444 |
申请日期 |
1993.01.20 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
KANAMORI SHUICHI;HIRAOKA KAZUNORI |
| 分类号 |
G01R27/08;H01L21/3205;H01L21/66;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
G01R27/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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