| 发明名称 |
VARTICAL PROCESSING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06216053(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930020555 |
申请日期 |
1993.01.13 |
| 申请人 |
TOKYO ELECTRON TOHOKU LTD |
发明人 |
MIYAGI KATSUNOBU;OSAWA SATORU |
| 分类号 |
H01L21/205;C23C16/54;C30B25/08;H01L21/22;H01L21/31;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/22;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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