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经营范围
发明名称
VERTICAL FURNACE
摘要
申请公布号
JPH06216054(A)
申请公布日期
1994.08.05
申请号
JP19930022121
申请日期
1993.01.14
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
IKEDA KAZUTO;KOIKE HIDEKI;KANO RIICHI;HOSAKA EIJI;YOSHIDA HISASHI
分类号
H01L21/205;H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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