发明名称 ELECTRONIC TUNING/MATCHING CIRCUIT EMPLOYING VARIABLE INDUCTIVE DEVICE AND TUNING TANK CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06215955(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930282663 申请日期 1993.11.11
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 KENISU ESU KORINZU;JIYON TOROU;KUREIGU EI ROODERITSUKU;JIEI DEII PINSON ZA SEKANDO;DAGURASU EI BATSUKUBAAGAA ZA SEKANDO;ROBAATO POORU HAATORAAJI;BUIKUTAA SHIERU
分类号 H01F21/02;H01F29/14;H01J37/32;H01L21/311;H03H7/38;H03H7/40;H03H11/30;H03J3/22;H05H1/46;(IPC1-7):H01F21/02 主分类号 H01F21/02
代理机构 代理人
主权项
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