发明名称 |
ELECTRONIC TUNING/MATCHING CIRCUIT EMPLOYING VARIABLE INDUCTIVE DEVICE AND TUNING TANK CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06215955(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
申请号 |
JP19930282663 |
申请日期 |
1993.11.11 |
申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
KENISU ESU KORINZU;JIYON TOROU;KUREIGU EI ROODERITSUKU;JIEI DEII PINSON ZA SEKANDO;DAGURASU EI BATSUKUBAAGAA ZA SEKANDO;ROBAATO POORU HAATORAAJI;BUIKUTAA SHIERU |
分类号 |
H01F21/02;H01F29/14;H01J37/32;H01L21/311;H03H7/38;H03H7/40;H03H11/30;H03J3/22;H05H1/46;(IPC1-7):H01F21/02 |
主分类号 |
H01F21/02 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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