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发明名称 ANISOTROPIC LIQUID PHASE PHOTOCHEMISTRY COPPER ETCHING
摘要
申请公布号 JPH06216108(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930243290 申请日期 1993.09.29
申请人 TEXAS INSTR INC <TI> 发明人 MONTE EI DAGURASU
分类号 C23F1/02;C23F4/02;H01L21/306;H01L21/3213;H05K3/06;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 C23F1/02
代理机构 代理人
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