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发明名称 COMPOSITE SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06215993(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930020734 申请日期 1993.01.14
申请人 UBE IND LTD 发明人 SHIMIZU MICHIMASA
分类号 H01L21/02;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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