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发明名称 ION IMPLANTER
摘要
申请公布号 JPH06215724(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930020709 申请日期 1993.01.13
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NISHIKAWA KAZUHIRO
分类号 C23C14/48;C23C14/54;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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