| 发明名称 |
ETCHING METHOD IN ULTRAMICROANALYSIS OF METAL ON SURFACE OF SILICON WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06213805(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930007047 |
申请日期 |
1993.01.19 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
KUBOTA KAZUHIKO;ARIKANE HIROSHI;YOSHITOMI MASAYUKI |
| 分类号 |
C30B33/10;G01N1/32;G01N21/31;H01L21/308;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/31 |
主分类号 |
C30B33/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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