| 发明名称 |
METHOD OF FORMING CONTACT HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06216085(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930024290 |
申请日期 |
1993.02.12 |
| 申请人 |
GENDAI DENSHI SANGYO KK |
发明人 |
IN SHIYUSHIYOKU;KIN MASAO;GO SHINSEI;KIN KAZUAKI;BOKU KIKOKU |
| 分类号 |
H01L21/28;H01L21/302;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/302 |
主分类号 |
H01L21/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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