发明名称 METHOD OF FORMING IMPURITY DIFFUSION REGION FOR ISOLATION
摘要
申请公布号 JPH06216234(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930007970 申请日期 1993.01.20
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC WORKS LTD 发明人 TAKAKURA NOBUYUKI
分类号 H01L21/761;H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/761
代理机构 代理人
主权项
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