发明名称 METHOD AND APPARATUS FOR STEREOSCOPIC INSPECTION OF CERAMIC SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06213822(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930024711 申请日期 1993.01.19
申请人 SUMITOMO KINZOKU CERAMICS:KK 发明人 SUGIMURA TOSHIYUKI;YAMADA TOMOAKI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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