| 发明名称 |
CONNECTING HOLE OF SEMICONDUCTOR DEVICE AND FORMING METHOD THEREFOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06216261(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930019461 |
申请日期 |
1993.01.13 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
HOSHINO KAZUHIRO;KOYAMA KAZUHIDE |
| 分类号 |
H01L21/203;H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
