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发明名称 Herstellung und Verwendung eines Kühlmittels für Kryogenvorrichtungen.
摘要
申请公布号 DE68916513(D1) 申请公布日期 1994.08.04
申请号 DE1989616513 申请日期 1989.11.20
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YOKOUCHI, KISHIO, ZAMA-SHI KANAGAWA 228, JP;YAMADA, MITSUTAKA, ATSUGI-SHI KANAGAWA 243, JP;KAMEHARA, NOBUO, ISEHARA-SHI KANAGAWA 259-11, JP;NIWA, KOICHI, TAMA-SHI TOKYO 206, JP
分类号 C09K5/04;F25D3/10;H01L23/44;(IPC1-7):C09K5/06 主分类号 C09K5/04
代理机构 代理人
主权项
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