发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND CORRECTION OF WIRING PATTERN THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06216247(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930004686 申请日期 1993.01.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 KOBAYASHI KAZUHIKO;OYAMADA FUMIO
分类号 H01L21/82;H01L21/3205;H01L21/822;H01L23/52;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
地址