发明名称 AUTOMATIC ARRANGEMENT DESIGN SYSTEM
摘要
申请公布号 JPH06216245(A) 申请公布日期 1994.08.05
申请号 JP19930020524 申请日期 1993.01.13
申请人 HITACHI LTD;HITACHI COMPUT ENG CORP LTD 发明人 MIZUMOTO HIROYUKI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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