| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06216067(A) |
申请公布日期 |
1994.08.05 |
| 申请号 |
JP19930258415 |
申请日期 |
1993.10.15 |
| 申请人 |
PHILIPS ELECTRON NV |
发明人 |
ROBERUTASU ADORIANUSU MARIA UORUTERUSU;EDOUIN TEIBE SUWARUTO |
| 分类号 |
C23C14/34;C23C14/00;C23C14/06;C23C14/16;C23C14/54;H01J37/34;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
C23C14/34 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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