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发明名称 Verfahren zur Abscheidung einer Kupfer enthaltenden Schicht I.
摘要
申请公布号 DE59102061(D1) 申请公布日期 1994.08.04
申请号 DE19915002061 申请日期 1991.07.22
申请人 KALI-CHEMIE AG, 30173 HANNOVER, DE 发明人 KRUCK, THOMAS, W-5024 ERFTSTADT-BLIESHEIM, DE;TERFLOTH, CHRISTIAN, W-5000 KOELN 41, DE
分类号 C07F1/08;C07F9/02;C23C16/18;(IPC1-7):C23C16/18 主分类号 C07F1/08
代理机构 代理人
主权项
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