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发明名称
OXIDE FILM REMOVING METHOD AND APPARATUS USING AZEOTROPIC VAPOR MIXTURE
摘要
申请公布号
KR940007060(B1)
申请公布日期
1994.08.04
申请号
KR19910002666
申请日期
1991.02.19
申请人
WATANABE, NOBUATSU;MORITA CHEMICAL IND. CO., LTD.;DAINIPPON SCREEN MFG. CO., LTD.
发明人
WATANABE, NOBUATSU;JONG, YONG - BO;TATSUNO, TOSHIO;OKADA, TOMOYOSHI;IZUMI, AKIRA;TOEI, KEIJI
分类号
H01L21/302;C03C15/00;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304
主分类号
H01L21/302
代理机构
代理人
主权项
地址
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