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发明名称 Schutzschicht für elektroaktive Passivierschichten.
摘要
申请公布号 DE59006267(D1) 申请公布日期 1994.08.04
申请号 DE19905006267 申请日期 1990.01.29
申请人 SIEMENS AG, 80333 MUENCHEN, DE 发明人 BIRKLE, SIEGFRIED, DR., D-8552 HOECHSTADT/AISCH, DE;KAMMERMAIER, JOHANN, DR., D-8025 UNTERHACHING, DE;SCHMIDT, GERHARD, DR., D-8550 FORCHHEIM, DE;SCHULTE, ROLF, D-8520 ERLANGEN, DE
分类号 C23C16/26;H01L21/56;H01L23/29;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 C23C16/26
代理机构 代理人
主权项
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