发明名称 KISOSEICHOSOCHI
摘要
申请公布号 JPH0658883(B2) 申请公布日期 1994.08.03
申请号 JP19860066501 申请日期 1986.03.24
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 KOZAI TERUO;KONNO HIDEKAZU
分类号 H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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