| 发明名称 |
DENKIBUHINMATAHAEREKUTORONITSUKUBUHINNOMORESHIKENHO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0658280(B2) |
申请公布日期 |
1994.08.03 |
| 申请号 |
JP19860157767 |
申请日期 |
1986.07.04 |
| 申请人 |
AI ESU SHII CHEM LTD |
发明人 |
DEBITSUDO SUTANRII ROIDO SURIN;DEBITSUDO EDOWAADO MATSUJI UOTSUTON;KORIN ROBAATO SAAJENTO |
| 分类号 |
G01M3/04;G01M3/06;G01M3/10;G01M3/22;H01L21/66;(IPC1-7):G01M3/06 |
主分类号 |
G01M3/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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