Method and device for measuring temperature radiation using a pyrometer wherein compensation lamps are used.,申请号EP19910201121-传众专利搜索

发明名称	Method and device for measuring temperature radiation using a pyrometer wherein compensation lamps are used.
摘要
申请公布号	EP0458388(B1)	申请公布日期	1994.08.03
申请号	EP19910201121	申请日期	1991.05.09
申请人	INTERUNIVERSITAIR MICROELEKTRONICA CENTRUM VZW	发明人	VANDENABEELE, PETER MICHEL NOEL;MAEX, KAREN IRMA JOZEF
分类号	G01J5/00;G01J5/52;H01L21/66;(IPC1-7):G01J5/00	主分类号	G01J5/00
代理机构		代理人
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