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经营范围
发明名称
MASS SEPARATION TYPE ION BEAM DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06212411(A)
申请公布日期
1994.08.02
申请号
JP19930003277
申请日期
1993.01.12
申请人
ULVAC JAPAN LTD
发明人
SHIMIZU SABURO;SASAKI NORIYASU
分类号
C23C14/32;(IPC1-7):C23C14/32
主分类号
C23C14/32
代理机构
代理人
主权项
地址
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