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发明名称 HARD CARBON FILM
摘要
申请公布号 JPH06212429(A) 申请公布日期 1994.08.02
申请号 JP19930142101 申请日期 1993.06.14
申请人 SUMITOMO ELECTRIC IND LTD 发明人 ODA KAZUHIKO;YUSHIO YASUHISA;SETOYAMA MAKOTO;YOSHIOKA TAKESHI
分类号 C23C14/06;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/48;C23C16/26;C23C16/27;C30B29/04;(IPC1-7):C23C16/26 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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