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发明名称 SPIN COATER
摘要
申请公布号 JPH06210230(A) 申请公布日期 1994.08.02
申请号 JP19930007921 申请日期 1993.01.20
申请人 SHARP CORP 发明人 OKETANI HIROI;YAMAMOTO HIROFUMI
分类号 B05C11/08;G03F7/16;H01L21/027;(IPC1-7):B05C11/08 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
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