发明名称 PRODUCTION OF PATTERNED PRODUCT BY REACTIVE ION ETCHING
摘要
申请公布号 JPH06212458(A) 申请公布日期 1994.08.02
申请号 JP19930004750 申请日期 1993.01.14
申请人 NIKON CORP 发明人 MORITA SEIJI
分类号 C23F1/00;C23F4/00;G11B7/26;(IPC1-7):C23F4/00 主分类号 C23F1/00
代理机构 代理人
主权项
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