| 发明名称 |
Elemental mercury source for metal-organic chemical vapor deposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL91155(A) |
申请公布日期 |
1994.07.31 |
| 申请号 |
IL19890091155 |
申请日期 |
1989.07.28 |
| 申请人 |
SANTA BARBARA RESEARCH CENTER |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B25/14;C23C16/30;C23C16/44;C23C16/448;C30B25/12;H01L21/365;(IPC1-7):C23C16/00 |
主分类号 |
C30B25/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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