Plasmabearbeitungsgerät.,申请号DE19873750115-传众专利搜索

发明名称	Plasmabearbeitungsgerät.
摘要
申请公布号	DE3750115(D1)	申请公布日期	1994.07.28
申请号	DE19873750115	申请日期	1987.10.20
申请人	HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP	发明人	OTSUBO, TORU, FUJISAWA-SHI, JP;YAMAGUCHI, YASUHIRO, CHIGASAKI-SHI, JP;TAKEUCHI, TAKAHIKO, DECEASED, JP
分类号	C23C16/517;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;H01J37/34;C23C16/50;C23F4/00	主分类号	C23C16/517
代理机构		代理人
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